Wie Bosch Rexroth die Halbleiter-Fabs von morgen automatisiert
Bis 2030 soll sich die weltweite Chipproduktion verdoppeln. Das bedeutet mehr Fabs und vor allem mehr Maschinen. In dieser Folge spreche ich mit Jan Kazmaier von Bosch Rexroth darüber, was das für die Automatisierung heißt. Moderne Fabs laufen fast ohne Menschen, rund um die Uhr, 365 Tage im Jahr. Mit jeder neuen Chipgeneration steigen die Anforderungen an Präzision, Geschwindigkeit und Reinraumtauglichkeit, und KI-Chips beschleunigen diesen Trend zusätzlich.
Jan führt uns durch die Wertschöpfungskette, von der Wafer-Produktion über Front-End und Back-End bis zur Elektronikfertigung. Er stellt konkrete Anwendungen vor, etwa Wafer-Pin-Lifts, Spin-Lifts, Single-Wafer- und Batch-Cleaning sowie die Wafer-Inspektion. Außerdem sprechen wir...